白光干涉儀的測(cè)量應(yīng)用說(shuō)明：

　　以測(cè)量單刻線(xiàn)臺(tái)階為例，在檢查儀器的各線(xiàn)路接頭都準(zhǔn)確插入對(duì)應(yīng)插孔后，開(kāi)啟儀器電源開(kāi)關(guān)，啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，將單刻線(xiàn)臺(tái)階工件放置在載物臺(tái)中間位置，先手動(dòng)調(diào)整載物臺(tái)大概位置，對(duì)準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。

　　在計(jì)算機(jī)上打開(kāi)光學(xué)3D表面輪廓儀測(cè)量軟件，在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的低點(diǎn)，再微調(diào)鏡頭與被測(cè)單刻線(xiàn)臺(tái)階表面的距離，調(diào)整到計(jì)算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時(shí)設(shè)置好要掃描的距離。按開(kāi)始按鈕，光學(xué)3D表面輪廓儀可自動(dòng)進(jìn)行掃描測(cè)量，測(cè)量完成后，軟件自動(dòng)生成3D圖像，測(cè)量人員可以對(duì)3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，獲得被測(cè)器件表面線(xiàn)、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。

　　白光干涉儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能全面、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?nèi)，確保了高效率檢測(cè)。*的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。